. .

1 p-n-өткелдер жасауға және иондық-сәулелік тұндыру әдісімен қабыршақтар өсіруге арналған жеңіл және ауыр иондар үдеткіші.

2 Кремний табақшаларының бетіне мыс контакталық жолақтар тұндыруға арналған жаңғыртылған МАГНА ТМ-29 магнетрондық ыдырату қондырғысы («Hi-Tech таза бөлмесі»).

3 Кремнийлік күн элементтеріне антишағылдырушы жабындар төсеуге арналған «ЭЛУ ТМ-5» электрондық-сәулелік қондырғы («Hi-Tech таза бөлмесі»).

БЭжН ҒББО таза дәлізі

Ион үдеткіші

Магнетрондық қондырғы МАГНА ТМ-29

Электрон-сәулелік қондырғы ЭЛУ ТМ-5

 

4 p-n-өткелдер жасау мақсатында фосфорға және борға ие қабыршақ түзуші ерітінділерді центрифуга әдісі арқылы тұндыруға қажетті Lab Spinner Module SM-180-BT қондырғысы («Hi-Tech таза бөлмесі»).

5 Магнетрондық ыдырату әдісі арқылы кремний жіңішке табақшаларына диффузиялық тосқауылдар мен наноқұрылымдар тұндыруға қажетті жаңғыртылған МАГНА ТМ-200-01 қондырғысы («Hi-Tech таза бөлмесі»).

6 Жіңішке табақшаларының бетін плазмалық өңдеуге арналған қондырғы.

Центрифугалар

 

Жоғары жиілікті магнетронды және ионды қондырғылар     

 

7 Диаметрі 150 мм кремний табақшаларына арналған екіжақты контакталық фотолитографияның ЭМ-5006А автоматты қондырғысы. Фоторезистті төсеу, кептіру және айқындап шығару қондырғылары, кремний табақшаларының бетіне сурет жасауға қажетті фотолитография технологиясындағы экспонаттау және қиыстыру қондырғысы («Hi-Tech таза бөлмесі»).

8 Фотолитография технологиясындағы фоторезистті алып тастауға арналған ваннаға ие, таза ауа беріп тұра алатын, диметилформамидте және Каро қоспасында сұйықпен химиялық өңдеу қондырғысы («Hi-Tech таза бөлмесі»).

9 Ерекше кедергісі кемінде 16 мегаОм «A» сыныпты ионсызданған су алу ДИОН-А003 қондырғысы, өндіруші "АКВАРОС" («Hi-Tech таза бөлмесі»). 

Hi-Tech фотолитография бөлмесі

Жоғары ажыратымдылық микроскопы 

Химиялық зертхана 

Ионсызданған су алу  қондырғысы

 

10 Кремний бетін пассивтендіруге, қабыршақтарды термиялық өңдеуге және қажетті құрылымдар мен сипаттамалар алуға арналған «Отжиг ТМ-4М» электр пеші («Hi-Tech таза бөлмесі»). 

11 Жылдам термиялық күйдіруге арналған AS-One 150 (Annealsys, France) электр пеші («Hi-Tech таза бөлмесі»)

12 Табақшаларды жоғары дәлдікті таңбалау және кесу SharpMark Fiber Pro30 лазерлік жүйесі.

 

«Отжиг ТМ-4М» электр пеші      

Жылдам күйдіру электр пеші

Қысқа тұйықталуы телімдерін кетіру үшін лазерлік жүйесі

 

13 Күн элементтерін ламинаттауға және капсуляциялауға арналған Pujol Lam Pro PV ламинаторы.

14 Күн модулінің сипаттамаларын анықтауға арналған «Күн Симуляторы» - Pulsed Solar Simulator System, Berger Lichttechnik қондырғысы.

15 Күн элементінің сипаттамаларын анықтауға арналған Sun 3000 Solar Simulator қондырғысы.

 

Күн модулдерге ламинатор. ҚБТУ-ның соңғы өнімдері

Күн сәулесінің симуляторы

Күн элементтердің ПӘК-ін өлшеуіші

 

16 2-400 нм диапазондағы контакталық жүйе қабыршақтарының қалыңдығын, тығыздығын және бұдырлығын анықтауға арналған көп функциялы рентгендік комплекс ComplexRayC6.

17 Контакталық жүйенің жұқа (< 100 нм) қабыршақтарының фазалық құрамын фотографиялық әдіспен анықтауға арналған УРС рентгендік қондырғысы  

18 Кремний пластиналарының электр кедергісін өлшеуге арналған Рометр қондырғысы және негізгі емес заряд тасымалдаушыларының өмір сүру уақытын өлшеуге арналған Тауметр 2М қондырғысы.

 

Наноқабыршақтардың қалыңдығын және тығыздығын өлшеуге арналған рентгендік рефлекторометр

Наноқабыршақтардың құрылымын мен фазалық құрамын зерттеу үшін рентген аппараты

Жартылай өткізгіштердегі электр кедергісін және негізгі емес заряд  тасымалдаушыларының өмір сүру уақытын өлшеуге арналған қондырғылары

 

19 Қабыршақтардың химиялық құрамын, құрылымын және оптикалық қасиеттерін анықтауға арналған рамандық қосымшаға ие Nicolet iS50 FT-IR ИҚ- Фурье спектрометрі

20 Қабыршақтардың люминесценттік қасиеттерін ультракүлгін, көрінетін және жақын инфрақызыл аймақта анықтауға арналған Lumina люминесценттік спектрометрі.

21 Қабыршақтардың мөлдірлігін, шығылдыру және жұту коэффициенттерін ультракүлгін, көрінетін және жақын инфрақызыл аймақта өлшеуге арналған Evolution-300 спектрофотометрі.

 

Наноқұрылымдардың оптикалық қасиеттерін өлшеуге арналған  қондырғылар (люминесценция, Раман шашырауы, ИК-спектроскопия, фотоэлектроскопия)

Күннің екі жақты модулі (KBTU өнімдері)

 

22 Қазақ-Британ техникалық университетінің территориясында арнайы жабдықталған шкафтарда орналасқан газ қондырғылары мен баллондар және «таза бөлмелерде» газдың барлық түрлеріне арналған кеңейтілген жеткізу жүйесі.

 

Газ қондырғылары мен шкафтағы баллондар

Газдың барлық түрлерін жеткізу  жүйесі

Технология процестерінің тазалығына арналған ауа сүзгісі бар желдету жүйесі